飞秒与纳秒激光刻蚀单晶硅对比研究

被引：32

作者：

杨焕

黄珊

段军

杜敏

机构：

[1] 华中科技大学光电子科学与工程学院武汉光电国家实验室

来源：

中国激光 | 2013年 / 40卷 / 01期

基金：

国家自然科学基金重点项目;

关键词：

激光技术; 激光微加工; 355nm纳秒激光; 1030nm飞秒激光; 单晶硅; 纳米条纹;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

摘要：

采用输出功率8W的355nm Nd∶YVO4纳秒激光器和3W的1030nm飞秒激光器对0.4mm的单晶硅的刻蚀进行了对比研究,研究了激光的单脉冲能量密度,脉冲宽度,脉冲耦合率等参数对加工质量和精度的影响。实验结果表明,飞秒激光加工的热效应要小于紫外纳秒激光,同时飞秒脉冲产生了纳米条纹,但随着加工次数的增加,纳米条纹也直接导致了不规则裂纹的产生。这说明飞秒激光的加工优越性也是有条件的,当需要对材料进行大量去除之类的加工时,成本相对较低的紫外纳秒激光可能更为适合。

引用

页码：95 / 100

页数：6

共 8 条

[1] 超快激光微构造硅的研究与应用 [J].

陈长水 ;

何慧丽 ;

李江华 ;

刘颂豪 .

激光与光电子学进展, 2012, (03) :23-27

[2] 飞秒激光功率与脉冲数的比例关系对制备硅表面微结构的影响 [J].

彭滟 ;

温雅 ;

张冬生 ;

陈宏彦 ;

罗士达 ;

陈麟 ;

徐公杰 ;

朱亦鸣 .

中国激光, 2011, 38 (12) :83-87

[3] 飞秒激光微加工中热熔化与热传递现象研究 [J].

苗恩铭 ;

陈甦欣 ;

牛鹏程 ;

颜焱 ;

费业泰 .

农业机械学报, 2011, 42 (04) :224-228

[4] 单台面二极管晶圆红外激光划片工艺研究 [J].

王中 ;

何里 ;

谢云辉 ;

谭波 ;

卢飞星 .

中国激光, 2011, 38 (02) :94-98

[5] 355nm纳秒脉冲激光在硅表面照射形成微结构及其荧光检测 [J].

刘春阳 ;

孙立东 ;

傅星 ;

孙凤鸣 ;

胡春光 ;

Peter Zeppenfeld ;

胡小唐 .

中国激光, 2010, 37 (08) :2139-2142

[6] 铝箔微孔的飞秒激光加工艺的研究 [J].

汪刚 ;

杨洗陈 ;

梁铭 ;

傅宁霞 .

激光与光电子学进展, 2010, (05) :92-95

[7]

Effect of excess Pb on crystallinity and ferroelectric properties of PZT(40/60) films on LaNiO 3 coated Si substrates by MOD technique[J] . J.H. Ma,X.J. Meng,J.L. Sun,T. Lin,F.W. Shi,G.S. Wang,J.H. Chu.Applied Surface Science . 2004 (1)

[8]

Ultrashort pulse laser ablation of silicon: an MD simulation study[J] . R.F.W. Herrmann,J. Gerlach,E.E.B. Campbell.Applied Physics A Materials Science & Processing . 1998 (1)

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