超快激光微构造硅的研究与应用

被引：5

作者：

陈长水

何慧丽

李江华

刘颂豪

机构：

[1] 华南师范大学信息光电子科技学院

来源：

激光与光电子学进展 | 2012年 / 03期

基金：

广东省自然科学基金;

关键词：

材料; 黑硅; 光电探测器; 太阳能电池; 超快激光;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用]; TN304.12 [];

学科分类号：

摘要：

在特定的气体氛围下,用一定能量密度的超短脉冲激光连续照射单晶硅片表面,或者离子注入在硅中引入硫族元素等方法,可在硅表面得到具有奇特光电性质的微米量级尖锥结构,该微锥结构被称为黑硅。这一新材料有奇特的光电性质,如对0.25～17μm波长的光有强烈的吸收,具有良好的场致发射特性等,为硅提供许多新的功能。Mazur教授预言这种新材料相当于60年前的半导体,在探测器、传感器、显示技术及微电子等领域都有重要的潜在应用价值,尤其在高效太阳能电池领域具有其他材料无可比拟的优越性。本文介绍了超快激光微构造硅的形成机理,研究进展、光电特性以及应用前景。

引用

页码：23 / 27

页数：5

共 14 条

[1] 微构造硅表面形貌的陷光特性研究 [J].

何慧丽 ;

陈长水 ;

王芳 ;

刘颂豪 .

量子电子学报, 2011, 28 (05) :617-621

[2] 超短激光脉冲对硅表面微构造的研究 [J].

李平 ;

王煜 ;

冯国进 ;

郑春弟 ;

赵利 ;

朱京涛 .

中国激光, 2006, (12) :1688-1691

[3] 飞秒激光作用下的硅表面微结构及发光特性 [J].

门海宁 ;

程光华 ;

孙传东 .

强激光与粒子束, 2006, (07) :1081-1084

[4] 飞秒激光烧蚀石英玻璃的实验与理论研究 [J].

邓蕴沛 ;

贾天卿 ;

冷雨欣 ;

陆海鹤 ;

李儒新 ;

徐至展 .

物理学报, 2004, (07) :2216-2220

[5] 表面微构造的硅材料——一种新型的光电功能材料 [J].

赵明 ;

苏卫锋 ;

赵利 .

物理, 2003, (07) :455-457

[6]

飞秒激光微构造硅的光学特性[D]. 刘洋.复旦大学. 2007

[7]

Sunlight loss for femtosecond microstructured silicon with two impurity bands[J] . Fang Jian,Chen Chang-Shui,Wang Fang,Liu Song-Hao.Chinese Physics B . 2011 (7)

[8] Infrared light absorption of silver film coated on the surface of femtosecond laser microstructured silicon in SF6 [J].

Wang, Yulan ;

Liu, Shuying ;

Wang, Yu ;

Feng, Guojin ;

Zhu, Jingtao ;

Zhao, Li .

MATERIALS LETTERS, 2009, 63 (30) :2718-2720

[9]

Micro and nano-structuration of silicon by femtosecond laser: Application to silicon photovoltaic cells fabrication[J] . M. Halbwax,T. Sarnet,Ph. Delaporte,M. Sentis,H. Etienne,F. Torregrosa,V. Vervisch,I. Perichaud,S. Martinuzzi.Thin Solid Films . 2008 (20)

[10]

Surface micro-structuring of silicon by excimer-laser irradiation in reactive atmospheres[J] . A.J. Pedraza,J.D. Fowlkes,S. Jesse,C. Mao,D.H. Lowndes.Applied Surface Science . 2000 (1)

← 1 2 →