化学气相沉积难熔金属钼组织性能的研究

被引：2

作者：

王从曾

马捷

毕安园

周美玲

机构：

[1] 北京工业大学材料科学与工程学院,功能材料教育部重点实验室,北京工业大学材料科学与工程学院,功能材料教育部重点实验室,北京工业大学材料科学与工程学院,功能材料教育部重点实验室,北京工业大学材料科学与工程学院,功能材料教育部重点实验室北京,北京,北京,北京

来源：

材料热处理学报 | 2005年 / 03期

关键词：

化学气相沉积; 钼; 显微组织;

D O I：

10.13289/j.issn.1009-6264.2005.03.016

中图分类号：

TG113 [金相学（金属的组织与性能）];

学科分类号：

摘要：

介绍了化学气相沉积法制备难熔金属钼膜层的原理和方法。以MoF6 和H2 为原料,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钼膜层。分析研究了沉积层的组织、结构和硬度。实验结果表明:沉积膜层显微组织随沉积温度变化而不同,沉积温度较低时沉积层显微组织为细晶层状结构,沉积层硬度可达6 77HV ;沉积温度较高时沉积层显微组织为致密的柱状晶,硬度稍高于一般烧结钼。

引用

页码：51 / 53+106 +106

页数：4

共 5 条

[1] 放电等离子烧结钼的组织和性能 [J].