四氯化硅转化技术的现状与发展趋势

被引：59

作者：

陈涵斌

李育亮

印永祥

机构：

[1] 四川大学化工学院

来源：

氯碱工业 | 2009年 / 45卷 / 04期

关键词：

四氯化硅; 转化; 三氯氢硅; 多晶硅; 气相法白炭黑; 硅酸乙酯; 光纤; 等离子体法;

D O I：

暂无

中图分类号：

TQ127.2 [硅及其无机化合物];

学科分类号：

摘要：

介绍以四氯化硅为原料生产的几种化学产品(气相法白炭黑、硅酸乙酯、多晶硅、光纤材料、三氯氢硅)的生产技术的现状和发展趋势,并分析这些产品的市场容量和对消耗四氯化硅所起的作用。国内多晶硅的大规模生产即将兴起,解决其副产物四氯化硅的最有效的方法是转化为三氯氢硅。着重介绍国内外四氯化硅氢化技术,及笔者正在开发的等离子体四氯化硅还原新工艺。

引用

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共 10 条

[1] Preparation of trichlorosilane by plasma hydrogenation of silicon tetrachloride [J].