ZnO薄膜的Sol-Gel制备与结构分析

被引：3

作者：

包定华

王世敏

顾豪爽

黄桂玉

邝安祥

机构：

[1] 湖北大学物理系

来源：

科学通报 | 1995年 / 06期

关键词：

ZnO薄膜; Sol-Gel法; 制备; 结构分析;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN304 [材料];

学科分类号：

摘要：

<正>ZnO薄膜是一种极为重要的多功能电子材料,已广泛地应用于体声波（BAW）延迟线、声表面波（SAW）器件、声光器件,以及气敏、力敏、压敏等传感器件中.传统的ZnO薄膜制备技术主要有射频磁控溅射,离子束蒸发,化学气相淀积等几种,近年来,Sol-Gel技术得到了很大的发展,已成功地制备出高取向的PbTiO3薄膜.高取向和外延的K（Ta,Nb）O3薄膜和（Sr,Ba）Nb2O6薄膜等,利用该工艺制备高质量的薄膜,有着极大的发展潜力.本文报道了采用Sol-Gel法在石英玻璃衬底上制备高c轴取向ZnO薄膜

引用

页码：572 / 574

页数：3