采用薄片溶解工艺制造微机械惯性仪表的实验研究

介绍了一种用以制造微机械惯性仪表（包括微陀螺和微加速度计）的微机械体加工方法——体硅溶解薄片法。它包括硅片工艺、玻璃工艺和组合片工艺。整个工艺过程只需单面处理，三次掩膜。硅片工艺包括刻凹槽，深扩散和干法刻蚀三次工艺过程。玻璃上用剥离的方法形成引线和电极的金属层。然后将硅片和玻璃倒接，进行静电键合。最后腐蚀掉硅片背面未掺杂的体硅，从而分离出结构。本文结合微陀螺的具体结构，详细阐述了每一工艺过程的要点，并着重介绍了硅上刻高深宽比槽的技术。该方法形成的结构与衬底不易粘附，成品率高，制造成本低，可形成的结构图形多种多样。