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TiN/Al2O3纳米多层膜的共格外延生长及超硬效应
被引：3
作者：
孔明
魏仑
董云杉
李戈扬
机构：
[1] 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
来源：
关键词：
TiN/Al2O3纳米多层膜;
外延生长;
非晶晶化;
超硬效应;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB383.1 [];
学科分类号：
摘要：
采用多靶磁控溅射法制备了一系列具有不同Al2O3调制层厚度的TiN/Al2O3纳米多层膜.利用X射线能量色散谱、X射线衍射、扫描电子显微镜、高分辨透射电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的成分、微结构和力学性能.研究结果表明,在TiN/Al2O3纳米多层膜中,单层膜时以非晶态存在的Al2O3层在厚度小于1·5nm时因TiN晶体层的模板效应而晶化,并与TiN层形成共格外延生长,相应地,多层膜产生硬度明显升高的超硬效应,最高硬度可达37·9GPa.进一步增加多层膜中Al2O3调制层的层厚度,Al2O3层逐渐形成非晶结构并破坏了多层膜的共格外延生长,使得多层膜的硬度逐步降低.
引用
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页码：770 / 775
页数：6
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