软X射线激光用分束镜研制

被引：3

作者：

王占山

吴永刚

唐伟星

秦树基

陈玲燕

徐向东

洪义麟

付绍军

朱杰

崔明启

机构：

[1] 同济大学精密光学工程技术研究所

[2] 同济大学物理系

[3] 中国科学技术大学同步辐射国家重点实验室

[4] 中国科学院高能物理研究所

[5] 中国科学院高能物理研究所上海

[6] 上海

[7] 合肥

[8] 北京

来源：

科学通报 | 2003年 / 13期

关键词：

软X射线; 分束镜; 多层膜; 干涉;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744 [物理光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9 nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6％。

引用

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