超精密加工的关键技术及发展趋势

被引：12

作者：

刘家豪

傅建中

陈子辰

机构：

[1] 浙江大学生产工程研究所

来源：

机电工程 | 2001年 / 05期

关键词：

超精密加工; 加工精度; 机床;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH706 [制造工艺];

学科分类号：

摘要：

论述了超精密加工技术的范畴,进一步探讨了提高超精密加工精度的关键技术问题。最后对超精密加工发展趋势作了展望。

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