新型纳米分辨率位移定位平移台的研制

被引：21

作者：

段智勇

王庆康

机构：

[1] 上海交通大学微纳科学技术研究院,上海交通大学微纳科学技术研究院上海郑州大学物理工程学院,郑州,上海

来源：

纳米技术与精密工程 | 2005年 / 03期

关键词：

压电步进驱动器; 光栅测量; 纳米分辨率定位;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN384 [铁电及压电器件];

学科分类号：

080508 [光电信息材料与器件];

摘要：

为克服已有压电驱动器存在的结构及控制系统复杂、定位行程小等缺陷,利用压电陶瓷的逆压电效应设计并制作了一种新型的压电纳米步进驱动器,建立光栅测试系统对这种压电驱动器的动态性能进行了测试,将压电纳米步进驱动器与电磁伺服马达耦合,设计新颖驱动结构,利用微机通过步进运动控制卡统一控制,实现大范围一维纳米分辨率位移定位,系统样机解决了所研制压电纳米步进驱动器双向运动、实用定位等问题,位移定位分辨率为50 nm,定位行程为100 mm,纳米分辨率定位最大速度为0.6 mm/s.

引用

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