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纳米复合薄膜制备技术.[J]..技术与市场.2001, 04
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溅射法制备纳米薄膜材料及进展
被引：126
作者：
贾嘉
机构：
[1] 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室上海
来源：
关键词：
溅射法;
纳米薄膜;
材料制备;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB383 [特种结构材料];
学科分类号：
080906 [电磁信息功能材料与结构];
摘要：
溅射技术以其在制备薄膜中的独特优点,成为获得高性能纳米材料的重要手段。本文介绍了离子束溅射和磁控溅射技术的基本原理、方法及其在制备纳米材料中的应用和优点,以国内外这方面的最新进展。文章最后对我国纳米材料今后的应用及发展前景进行了展望。
引用
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页数：4
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