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热超声键合换能系统动力学特性的非线性检验
被引:5
作者:
宋爱军
韩雷
机构:
[1] 中南大学机电工程学院
来源:
关键词:
超声键合;
时间序列;
相位随机化;
替代数据;
D O I:
暂无
中图分类号:
TN405 [制造工艺];
学科分类号:
080903 ;
1401 ;
摘要:
根据实际超声换能系统的振动测试,提出了热超声键合换能系统动力学特性的非线性检验方法,利用基于相空间重构的替代数据法,通过对换能杆末端的实测数据进行正确替代,并用非线性动力学的理论来检验其是否具有非线性.通过实验对超声换能杆末端轴向、俯仰、横向的振动时间序列的关联维数进行了准确的计算,从而清晰地描述了上述三个方向的动力学特性.所提出的方法有利于更好地认识超声键合换能系统,为建立更加合理的非线性动力学模型奠定良好的理论基础,有很好的应用价值.
引用
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页码:3820 / 3826
页数:7
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