抗振型移相干涉仪中PZT移相器的改进

被引：4

作者：

吴栋

朱日宏

陈磊

何勇

王青

高志山

机构：

[1] 南京理工大学电光学院

来源：

光学精密工程 | 2003年 / 06期

关键词：

移相干涉术; 主动抗振; PZT移相器; 时间响应; 位移;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

结合移相式干涉仪主动抗振技术,提出对普通PZT光学移相器进行机械结构的优化,改善其机械响应性能并保证有足够的位移量。作为机电反馈式干涉仪抗振系统的核心部件,改进后的PZT构件用于干涉仪的移相驱动,同时又用作光学相位调制器和振动补偿器。经移相干涉仪的在线测量,PZT移相器达到了1000Hz(振动幅度为λ/2)以上的时间响应速度并获得了6μm左右的位移量,满足了干涉抗振系统的需要。

引用

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