微纳米检测技术的研究进展

纳米检测是纳米技术的重要方面之一。本文介绍了近年来研究人员为获得几何量纳米测量精度所作的努力和取得的进展 ,主要包括实物基准测量系统的标准溯源、扫描隧道显微技术的新应用、微纳米驱动定位技术的应用、三坐标测量机不确定度的正确评价和纳米三坐标测量机的研制等 ,阐述了误差分离技术和自校正技术的原理及其在提高测量和加工精度方面的有效性。