热超声倒装芯片运动平台的模糊PID控制

被引：3

作者：

周海波

邓华

段吉安

机构：

[1] 中南大学机电工程学院

来源：

系统仿真学报 | 2007年 / 13期

基金：

国家自然科学基金重大项目;

关键词：

芯片键合; 运动平台; 非线性系统; PID控制; 模糊PID控制;

D O I：

10.16182/j.cnki.joss.2007.13.016

中图分类号：

TP273.4 [];

学科分类号：

080201 ; 0835 ;

摘要：

针对自行设计的步进电机结合传动装置构成的热超声倒装芯片运动平台,建立了含摩擦等扰动因素的系统非线性数学模型。针对这一非线性数学模型,研究了传统PID控制和模糊PID控制的控制性能。结果表明,传统PID控制难以达到理想的性能,而模糊PID控制能显著地改善定位精度和运行速度。

引用

页码：2944 / 2947+2954 +2954

页数：5

共 7 条

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