非平衡等离子体化学研究现状与进展

被引：26

作者：

白希尧

张芝涛

白敏冬

韩慧

机构：

[1] 大连海事大学环境工程研究所

来源：

科学通报 | 2002年 / 05期

基金：

国家自然科学基金重点项目;

关键词：

化学反应; 低气; 电子; 轻子; 流量条件; 等离体化学; 等离子体化学; 非平衡等离子体;

D O I：

暂无

中图分类号：

O646.9 [等离子体化学];

学科分类号：

摘要：

<正>现在人们研究的非平衡等离子体大多是在低气压（1.33 Pa～1.33 kPa）、低质量流量条件下,由射频（13.5 MHz）、微波（2450 MHz）以及交、直流高电压激发的辉光放电产生的,作为一种直接向反应体系施加能量的方法,已在等离子体化学合成与分解、溅射制膜、气相淀积、聚合与引发聚合、材料表面改性、沉积刻蚀和低温灰化等方面应用,取得了引人瞩目的应用效果.Maezono等人[1]在压力为0.08 kPa,Ar作

引用

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[1] 羟基药剂治理赤潮研究 [J].