温湿度环境下高量程加速度计可靠性研究

被引：6

作者：

陈员娥 ^{[1
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刘晴晴 ^{[1
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马喜宏 ^{[1
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李长龙 ^{[1
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]}

机构：

[1] 仪器科学与动态测试教育部重点实验室中北大学

[2] 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室

来源：

传感技术学报 | 2013年 / 26卷 / 06期

关键词：

高量程加速度计; 温湿度综合环境; 粘附; 可靠性评估;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

在对高量程加速度计进行温湿度综合环境应力试验的基础上,分析了温湿度环境下加速度计的输出与综合环境的关系。实验得出在相对湿度为(80～90)%F.S环境下,该微加速度计的工作极限温度为110℃,破坏极限温度为120℃;其主要失效模式为粘附。利用综合环境下加速度计的失效寿命,采用两参威布尔分布对其进行可靠性评估,并描绘了其可靠度与失效概率曲线。

引用

页码：830 / 833

页数：4

共 9 条

[1] 温度应力对MEMS器件分层失效的影响规律 [J].