一种大厚度的三轴差分电容式硅微加速度计

被引：8

作者：

曹新平

张大成

黄如

张兴

王阳元

机构：

[1] 北京大学微电子所,北京大学微电子所,北京大学微电子所,北京大学微电子所,北京大学微电子所微米纳米加工技术国家重点实验室北京,微米纳米加工技术国家重点实验室北京,微米纳米加工技术国家重点实验室北京,微米纳米加工技术国家重点实验室北京,微米纳米加工技术国家重点实验室北京

来源：

仪器仪表学报 | 2002年 / 06期

关键词：

偏轴灵敏度; 有限元模拟; 模态; 压膜阻尼;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2002.06.006

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

介绍了一种新型三轴全差分电容式加速度计的设计和制备。设计的加速度计采用了三个共用同一玻璃衬底的大厚度差分电容式微结构 ,分别用于检测三个垂直方向的加速度。同时 ,对所设计的微结构从理论和数值上进行了详细的分析。用有限元分析工具 ANSYS对器件进行了模拟 ,模拟结果显示出器件设计的合理性。最后 ,给出了制备工艺和测试结果

引用

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