用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构

被引：2

作者：

刘伟

张景和

机构：

[1] 长春光学精密机械与物理研究所长春光机医疗仪器有限公司

[2] 哈尔滨工业大学精密工程研究所吉林长春

[3] 黑龙江哈尔滨

来源：

关键词：

激光直接写入设备; 纳米分辨力; 调焦伺服机构;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

在激光直接写入设备中需要有高分辨力的调焦伺服机构对光刻物镜进行调焦伺服.采用压电陶瓷作为驱动元件、3个柔性铰链组合结构作为导向及执行元件,研制出了一种用于激光直接写入设备的调焦伺服机构.该调焦伺服机构的分辨力为10 nm,行程为10 μm,导向精度为1.37”.是适合纳米定位的理想调焦伺服机构.

引用

页码：310 / 312

页数：3

共 4 条

[1] 二元光学元件激光直接写入设备的研制 [J].

张景和 ;

廖江红 ;

刘伟 ;

冯晓国 .

[2] 单轴柔性铰链转角刚度的计算机辅助计算 [J].

刘伟 .

[3] 激光直写设备调焦伺服控制系统的研究 [J].

熊木地 ;

肖文礼 ;

邢忠宝 ;

不详 .

[4] 高分辨力高导向精度柔性铰链调焦机构 [J].

胡淞 ;

姚汉民 .