不同针孔直径下衍射波面的标量和矢量分析

被引：7

作者：

王瑞林 ^{[1
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]}

张丽霞 ^{[1
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邢廷文 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所

[2] 中国科学院研究生院

来源：

光电技术应用 | 2011年 / 26卷 / 06期

关键词：

物理光学; 光学检测; 针孔衍射; FDTD;

D O I：

暂无

中图分类号：

O436.1 [干涉与衍射];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

针孔作为点衍射干涉仪中的关键元件,针孔的制作精度将会严重影响干涉仪的检测精度。对于大多数衍射问题,标量衍射理论是一种比较好的近似,但是当衍射孔径较小时,矢量衍射理论更能说明衍射波面的实际情况。针对可见光入射针孔时,分别从标量和矢量衍射理论出发,分析针孔尺寸对衍射波质量的影响,并计算衍射波面的峰谷(PV)值和均方根(RMS)值。结果表明,标量衍射理论下,当孔径为400 nm时,衍射波面误差RMS最小,且随着材料厚度的变化误差变化不大。矢量衍射理论下,孔径为200 nm时,衍射波面误差RMS最小,且材料厚度的不同,衍射误差变化较大。

引用

页码：58 / 61

页数：4

共 8 条

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