超精密加工表面微观形貌的光学测量方法

被引：5

作者：

王洪祥

董申

梁迎春

李旦

机构：

[1] 哈尔滨工业大学

来源：

工具技术 | 1999年 / 05期

关键词：

表面微观形貌,光学测量,超精密加工;

D O I：

10.16567/j.cnki.1000-7008.1999.05.012

中图分类号：

TG84 [表面光洁度（表面粗糙度）的测量及其量仪];

学科分类号：

摘要：

介绍了几种典型的超精密加工表面微观形貌光学测量方法的测量原理及优缺点，评述了表面微观形貌光学测量技术的发展动态。

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页数：4

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