压电驱动器的非线性模型及其精密定位控制研究

压电驱动器的非线性特性和迟滞特性是影响微动平台定位控制精度的主要因素。采用改进的Preisach模型对压电驱动器的迟滞特性进行建模 ,利用建立的Preisach模型进行开环精密定位控制和作为PID反馈控制的前馈环节的研究。实验结果表明 ,该模型能够有效地降低非线性迟滞特性对压电驱动器位移输出精度的影响 ,提高驱动器的动态响应特性。