高有效孔径比面阵石英微透镜阵列研究

被引：2

作者：

柯才军

易新建

赖建军

机构：

[1] 华中科技大学光电系

[2] 华中科技大学图像处理与智能控制国家重点实验室

来源：

半导体技术 | 2004年 / 04期

关键词：

有效孔径比; 石英微透镜; CCD传感器; 反应离子刻蚀;

D O I：

10.13290/j.cnki.bdtjs.2004.04.024

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

为了提高可见光CCD图像传感器的填充因子从而提高CCD的信噪比,在石英基片上制作了516×516元的微透镜阵列。本文对石英微透镜阵列的制作工艺过程进行了详细讨论。最后的测量结果表明所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓和较好的几何尺寸均匀性。其实测有效孔径比可达到92.8%,极大提高了微透镜阵列的聚光效率。

引用

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