基于自校正的三坐标机二维平台误差测量技术

被引：10

作者：

王道档 ^{[1
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]}

邹慧 ^{[1
]}

郭天太 ^{[1
]}

王晓晓 ^{[1
]}

刘维 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国计量学院计量测量工程学院

[2] 精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津大学)

来源：

仪器仪表学报 | 2013年 / 34卷 / 11期

基金：

浙江省自然科学基金;

关键词：

自校正算法; 坐标测量机; 最小二乘法; 栅格板; 误差测量;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2013.11.007

中图分类号：

TG806 [技术测量方法];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

针对三坐标测量机二维平台的高精度校正问题,提出了一种基于自校正算法的二维平台误差测量方法。利用精度要求低于或等于待测平台的刚性栅格板测量二维平台上多个位姿点的坐标,根据基于最小二乘法的自校正算法得到待测平台的二维平台误差,并对实验结果进行了不确定度分析与验证。实验结果表明,利用该方法可有效地获得待测二维平台误差,测量精度可达到亚微米量级。所提出的三坐标测量机平台误差测量方法具有较高的可靠性,无需昂贵的专用高精度辅助装置,在三坐标测量机二维平台误差的测量和校正中具有较好的实用性。

引用

页码：2451 / 2457

页数：7

共 12 条

[1] 基于相位跟踪原理的超精密定位平台研究 [J].