共 5 条
[4]
超精密加工技术.[M].庞滔等编;.国防工业出版社.2000,
[5]
精密和超精密加工技术.[M].袁哲俊;王先逵主编;.机械工业出版社.1999,
压电驱动超精密定位工作台的研究
被引：9
作者：
孙宝玉
林洁琼
王登月
任建岳
机构：
[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
[2] 长春工业大学机电学院
[3] 长春市新星锅炉厂
[4] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 长春长春工业大学机电学院
[5] 长春
来源：
关键词：
压电陶瓷微位移器件;
精密定位;
柔性铰链;
线切割;
D O I：
10.13952/j.cnki.jofmdr.2003.02.013
中图分类号：
TH703.8 [];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要：
研究、设计了一种压电式超精密微定位工作台。此工作台在伺服电机驱动的滚珠丝杠进给系统的基础上 ,采用压电陶瓷作为微位移驱动器 ,柔性铰链为导向机构 ,对工作台运动位置自动补偿 ,实现了超精密定位。文中对柔性铰链机构进行了合理的设计 ,以实现长行程超精密定位。压电陶瓷配合柔性铰链使用使工作台定位精度达到 0 .0 1μm ,可满足精密、超精密加工需要
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