像素偏振片阵列制备及其在偏振图像增强中的应用

被引:19
作者
张志刚 [1 ]
董凤良 [2 ]
张青川 [1 ]
褚卫国 [2 ]
仇康 [1 ]
程腾 [1 ]
高杰 [1 ]
伍小平 [1 ]
机构
[1] 中国科学技术大学,近代力学系中国科学院材料力学行为与设计重点实验室
[2] 国家纳米科学中心纳米加工技术实验室
关键词
偏振片阵列; 金属纳米光栅; 偏振透射率; 消光比;
D O I
暂无
中图分类号
O436.3 [偏振与色散];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
像素偏振片阵列在实时测量光的斯托克斯参量方面具有重要的应用.本文设计和制作了基于金属铝纳米光栅的像素偏振片阵列,制作工艺基于电子束曝光技术.偏振片阵列单元尺寸为7.4μm,每相邻2×2单元的透偏振方向分别为0,7π/4,π/2和3π/4.光栅周期为140 nm,占空比为0.5,深度100 nm,光栅面型为矩形.像素偏振片阵列的扫描电子显微镜照片显示,制备的偏振片阵列的金属纳米光栅栅线无断线、无交叉、无杂物污染,光栅栅线结构平直,厚度均匀,满足理想矩形面型.采用偏振光作为照明光的光学显微镜拍摄图片显示,像素偏振片阵列整体形状规则,具有很好的偏振特性,最大偏振透射率可达到79.3%,消光比可达到454.将像素偏振片阵列与CCD(charge coupled device)集成在一起,采集单帧图像即可计算图像的斯托克斯参量,从而得到拍摄物体线偏振度图像和线偏振角图像,实现了偏振增强,可应用于目标反隐和识别.
引用
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页码:232 / 241
页数:10
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