Ge/Au,Ge/Ag双层膜和Ge-Au,Ge-Ag合金膜中非晶Ge的晶化

本文对Ge/An,Ge/Ag,双层膜和Ge-An,Ge-Ag合金膜的退火过程进行了透射电子显微镜观测,对Ge/多晶Au（或Ag）还进行了加热过程的原位观测。观测表明,多晶Au和单晶Au膜的存在使非晶Ge的晶化温度Tc的下降显著不同,可由晶界三叉点等处为非晶Ge的有利形核位置来解释,双层膜的缩聚区中由于局域优先晶化的影响,不仅Tc（=100℃）比非缩聚区中（Tc=150℃）低,而且形成直径为1—2μm的Ge大晶粒,而Ge/多晶Ag和Ge/单晶Ag膜的Tc均约为280C,合金膜中金属含量较低时(CAu<17at％,CAg<18at％),Tc高于相应的Ge/多晶Au（Ag）膜;金属含量较高时,Tc低于Ge/多晶Au（Ag）膜。这说明过饱和金属原子的存在使得非晶Ge的晶化势垒大大降低。