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薄膜中异常晶粒生长理论及能量各向异性分析
被引:46
作者
:
论文数:
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机构:
张建民
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机构:
徐可为
张美荣
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机构:
陕西师范大学物理学与信息技术学院,西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,陕西师范大学图书馆西安,西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,西安,西安
张美荣
机构
:
[1]
陕西师范大学物理学与信息技术学院,西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,陕西师范大学图书馆西安,西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,西安,西安
来源
:
物理学报
|
2003年
/ 05期
关键词
:
薄膜;
异常晶粒生长;
模型;
织构;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];
学科分类号
:
070307
[化学生物学]
;
摘要
:
针对柱状晶薄膜 ,建立了异常晶粒生长理论模型 .指出薄膜中的晶粒生长 ,除像传统的整体材料中的晶粒生长一样考虑晶界能外 ,还应当考虑表面能、界面能和应变能 .对能量的各向异性进行了回顾性分析 .从表面能的最小化考虑 ,面心立方和体心立方薄膜的择优取向或织构应分别为 ( 111)和 ( 110 ) ;而从应变能的最小化考虑 ,面心立方和体心立方薄膜的择优取向或织构应分别为 ( 110 )和 ( 10 0 )
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