X 射线双晶衍射在新材料研究中的应用

被引：2

作者：

朱南昌

李润身

陈京一

机构：

[1] 中国科学院上海冶金研究所

来源：

关键词：

离子注入; X 射线双晶衍射; 计算机模拟;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文介绍了 X 射线双晶衍射术的基本原理。描述了双晶衍射技术在半异体材料的离子注入、单层及多层异质结外延膜、应变超晶格等新型材料研究中的应用。给出了双晶衍射对 Si 中高能 B+注入和 InxGa1-xAs/GaAs 超晶格研究的实例。

引用

页码：129 / 133

页数：5

共 4 条

[1] 晶体表面畸变的X射线双晶衍射研究 [J].

朱南昌 ;

李润身 ;

陈京一 ;

许顺生 .

李润身 ;

H.K.Wagenfeld ;

J.S.Williams ;

Stephen Milkins ;

Andrew Stevenson .

田亮光 ;

刘湘林 ;

许顺生 ;

韩效溪 .

[4]

X射线衍衬貌相学.[M].许顺生;冯端主编.科学出版社.1987,