长行程直线电机的迭代学习控制

被引：39

作者：

石阳春 ^{[1
]}

周云飞 ^{[1
]}

李鸿 ^{[1
]}

李介明 ^{[2
]}

黄永红 ^{[2
]}

机构：

[1] 华中科技大学国家数控系统工程技术研究中心

[2] 长沙理工大学

来源：

中国电机工程学报 | 2007年 / 24期

关键词：

光刻机; 工件台; 直线电机; 迭代学习控制; 前馈补偿;

D O I：

10.13334/j.0258-8013.pcsee.2007.24.016

中图分类号：

TM359.4 [直线电机];

学科分类号：

080801 ;

摘要：

光刻机工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度,采用长行程直线电机粗动加洛仑兹电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求。为减小微动电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机的轨迹跟踪精度。提出了一种开闭环D型迭代学习控制律改善永磁直线同步电动机(PMLSM)的轨迹跟踪性能。控制器由三部分组成:PID控制器用来提高系统对扰动和参数变化的鲁棒性;前馈补偿器可提高系统的实时跟踪性能;迭代学习控制器则通过执行重复任务来不断向理想的控制信号逼近。实验结果表明,这种控制方法可以有效提高系统的轨迹跟踪精度。

引用

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共 15 条

[1] 学习控制的现状与展望 [J].