TiO2薄膜的Sol－gel制备及结构分析

被引：9

作者：

包定华，顾豪爽，黄桂玉，邝安祥

机构：

[1] 湖北大学压电陶瓷技术研究所

来源：

功能材料 | 1995年 / 06期

关键词：

TiO＿2薄膜，Sol－gel工艺，制备结构;

D O I：

暂无

中图分类号：

O482.41 [压电现象、电致伸缩];

学科分类号：

摘要：

以正钛酸丁酯、无水乙醇和冰醋酸为原料，采用Ｓｏｌ－ｇｅｌ工艺匀胶技术在石英玻璃和单晶硅衬底上成功地制备了ＴｉＯ＿２薄膜，薄膜表面均匀、致密，无裂纹。研究表明，随热处理温度的提高，薄膜经锐钛矿转变为金红石结构，其转变温度因衬底不同而异，但比凝度粉末的转变温度高。金红石结构的ＴｉＯ＿２薄膜具有一定的择优取向性，其品位大小为０．０５～０．１５μｍ．

引用

页码：528 / 531

页数：4

共 4 条

[1] ZnO薄膜的Sol-Gel制备与结构分析 [J].