高机械灵敏度悬空导电薄膜的制备方法研究

被引：4

作者：

郑志霞 ^{[1
]}

冯勇建 ^{[2
]}

机构：

[1] 莆田学院电子信息工程学系

[2] 厦门大学物理与机电工程学院

来源：

厦门大学学报(自然科学版) | 2012年 / 51卷 / 01期

关键词：

机械灵敏度; 悬空薄膜; 浓硼扩散; 自停止腐蚀;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP211.4 []; O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

微机电系统中的悬空薄膜的制备技术是微结构制备的关键技术之一.研究了周边固支方形薄膜的机械灵敏度及通过浓硼扩散自停止腐蚀法制备高灵敏度悬空导电薄膜.实验结果表明,当扩散温度为1 175℃,扩散时间为3h,去除硼硅玻璃后四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液中腐蚀7.5h,可得到厚度为3μm,边长为5mm,方块电阻为1.12Ω/sq,致密均匀的悬空导电薄膜.给出了详细的制备工艺;针对扩散过程中出现的硼硅玻璃等问题,给出了切实可行的解决办法.

引用

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共 7 条

[1] 电容式微型真空传感器在真空绝热板生产中的应用研究 [J].