低热机械噪声MEMS加速度计设计

被引：4

作者：

杨丹琼 ^{[1
,2
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陈志龙 ^{[3
]}

徐静 ^{[1
]}

钟少龙 ^{[1
]}

李四华 ^{[1
,2
]}

吴亚明 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

[2] 中国科学院研究生院

[3] 南昌理工学院

来源：

传感器与微系统 | 2011年 / 30卷 / 11期

关键词：

加速度计; 热机械噪声; 体硅工艺; 梳齿电容; 滑膜阻尼;

D O I：

10.13873/j.1000-97872011.11.044

中图分类号：

TP211.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ;

摘要：

介绍了一种能够在大气条件下具备低噪声、高灵敏度特性的MEMS加速度计设计、制作与测试。器件采用梳齿电容检测方法,利用MEMS体硅加工工艺,实现了210对梳齿的加速度计制作。该加速度计不需要真空封装和阻尼孔就能实现低热机械噪声特性,其理论热机械噪声为0.018μg/槡Hz。加速度计芯片在大气封装和无阻尼孔情况下Q值高达455.06,与理论分析结果相符,具有较低的热机械噪声。

引用

页码：89 / 91+95 +95

页数：4

共 5 条

[1] 梳齿式微机械加速度计的研制 [J].