介质阻挡放电氢等离子体中氢原子浓度的光谱诊断

被引：5

作者：

王卫国

徐勇

刘忠伟

朱爱民

王文春

机构：

[1] 大连理工大学

来源：

光谱学与光谱分析 | 2006年 / 09期

关键词：

氢原子浓度; 内标法; 发射光谱; 介质阻挡放电; 等离子体诊断;

D O I：

暂无

中图分类号：

O536 [辐射与测量];

学科分类号：

摘要：

在化学气相沉积功能材料等离子体刻蚀及表面处理等过程中,氢原子起着非常重要的作用。文章详细论述了利用发射光谱技术诊断氢原子的基本原理,以氩气作为内标对介质阻挡放电氢等离子体中的氢原子浓度进行了定量的诊断,研究了氢原子浓度、氢分子解离率随气压的变化规律。发现在0.32到5.1kPa气压范围内,氢分子的解离率由5.2%下降到0.089%,相应的氢原子浓度由4.9×1015.cm-3下降到1.3×1015.cm-3。文章还研究了氢Balmer系以及氩(750.4nm)谱线的发射强度随气压、放电电压、频率等放电参数的变化规律。

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页码：1589 / 1593

页数：5

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