基于SOI技术梁膜结合高过载压阻式加速度计研究

被引：7

作者：

赵玉龙

赵立波

蒋庄德

机构：

[1] 西安交通大学机械工程学院

来源：

传感技术学报 | 2006年 / 05期

关键词：

梁膜结合; SOI技术; 压阻式; 高过载; 加速度计;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN47 [大规模集成电路、超大规模集成电路];

学科分类号：

摘要：

采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片;通过动力学分析和有限元模拟,研制出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构;通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,研制出量程为±2000g、过载能力为30倍满量程的高过载梁膜结合压阻式加速度计.加速度计具有较高的测量灵敏度和精度,满量程输出为126.97mV/2V,静态精度为0.86%FS.

引用

页码：2171 / 2173+2176 +2176

页数：4

共 5 条

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