利用飞秒激光和纳秒激光脉冲加工金刚石（英文）

被引：23

作者：

董志伟 ^{[1
]}

张伟斌 ^{[1
]}

郑立威 ^{[1
]}

姜涛 ^{[2
]}

范国祥 ^{[3
]}

赵煦 ^{[1
]}

赵清亮 ^{[4
]}

陈德应 ^{[1
]}

夏元钦 ^{[1
]}

机构：

[1] 哈尔滨工业大学可调谐激光国家级重点实验室

[2] 北京星航机电装备有限公司

[3] 哈尔滨工业大学软件学院

[4] 哈尔滨工业大学精密机械中心

来源：

红外与激光工程 | 2015年 / 44卷 / 03期

关键词：

金刚石; 飞秒; 纳秒;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

摘要：

分别利用脉宽在40 fs和5 ns的飞秒及纳秒激光脉冲加工了钎焊在不锈钢底板上的金刚石阵列。通过测量加工区域面积和入射激光功率的关系推断出了飞秒和纳秒激光脉冲加工金刚石材料的阈值。实验结果表明,相比于纳秒激光加工,利用飞秒激光加工金刚石的阈值更低。也利用显微镜比较了利用不同种类光源加工金刚石后加工区域的形貌。研究结果证明了利用飞秒激光加工金刚石相比于纳秒激光更为有效。

引用

页码：893 / 896

页数：4

共 6 条

[1] 飞秒激光加工SiC的烧蚀阈值及材料去除机理
赵清亮
姜涛
董志伟
樊荣伟
于欣
罗健
[J]. 机械工程学报, 2010, 46 (21) : 172 - 177
[2] 飞秒激光微加工:激光精密加工领域的新前沿
何飞
程亚
[J]. 中国激光, 2007, (05) : 595 - 622
[3] 飞秒激光加工最新进展
孙晓慧
周常河
余昺鲲
[J]. 激光与光电子学进展, 2004, (09) : 37 - 45
[4] Ultrafast laser micromachining of 3C-SiC thin films for MEMS device fabrication
Ben Pecholt
Monica Vendan
Yuanyuan Dong
Pal Molian
[J]. The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2008, 39 : 239 - 250
[5] Single and multiple ultrashort laser pulse ablation threshold of Al 2 O 3 (corundum) at different etch phases[J] . D. Ashkenasi,R. Stoian,A. Rosenfeld.Applied Surface Science . 2000
[6] Femtosecond, picosecond and nanosecond laser ablation of solids[J] . B. N. Chichkov,C. Momma,S. Nolte,F. Alvensleben,A. Tünnermann.Applied Physics A Materials Science & Processing . 1996 (2)

← 1 →