基于白光干涉彩色图像的微结构表面形貌测量

被引：15

作者：

郭彤

李峰

倪连峰

陈津平

傅星

胡小唐

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

来源：

光学学报 | 2014年 / 34卷 / 02期

关键词：

测量; 白光干涉; 表面形貌; 彩色图像; 小波变换; 微结构;

D O I：

暂无

中图分类号：

O436.1 [干涉与衍射];

学科分类号：

摘要：

微结构的表面形貌会显著地影响微纳器件的使用性能及产品质量,是微纳测试领域的一个重要研究方面,利用白光干涉技术是测量物体表面形貌的一种常见方法。区别于常用的CCD黑白相机,使用CCD彩色相机采集白光干涉条纹的彩色图像,使获取的图像包含了R、G、B三个通道的信息。利用小波变换法分别求解出在不同扫描位置处R、G、B通道的相位信息,通过建立的评价函数,并结合最小二乘法可精确确定零光程差的位置,利用相对高度和零光程差位置的线性关系,进而得到物体的表面形貌。通过仿真以及实际测量由VLSI标准公司制造的标准台阶结构,验证了所提出方法的有效性。

引用

页码：128 / 134

页数：7

共 12 条

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