基于PSD的微位移测量系统研究

被引:5
作者
王帅帅 [1 ]
祝连庆 [1 ]
周维虎 [2 ]
董登峰 [2 ]
周培松 [3 ]
机构
[1] 北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院
[2] 中国科学院光电研究院
[3] 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
关键词
PSD; 微位移; ADS7864; 双线性插值;
D O I
10.16180/j.cnki.issn1007-7820.2014.06.004
中图分类号
TH822 [位移测量仪表];
学科分类号
摘要
介绍了PSD的结构、特性和工作原理,设计了一种基于PSD探测器的微位移测量系统。针对PSD信号输出特点和实际应用要求,提出了基于PSD的微位移信号采集、处理和上位机通信系统。单片机通过ADS7864采集PSD的输出信号,处理后由RS232接口传给上位机,位移值在上位机界面显示,实现了对光斑微位移量的实时测量。实验结果表明,该系统响应速度快、测量精度高,可广泛应用于微位移测量领域。
引用
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页数:4
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