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智能气体传感器研究[J] 虞承端，梅涛，申飞，倪林 功能材料与器件学报 1996, 03
微电子机械系统的力学特性与尺度效应
被引：115
作者：
梅涛
孔德义
张培强
伍小平
机构：
[1] 中国科学技术大学力学与机械工程系
[2] 中国科学院合肥智能机械研究所
[3] 中国科学技术大学力学与机械工程系 合肥中国科学院合肥智能机械研究所合肥
[4] 合肥
来源：
关键词：
微电子机械系统;
硅材料;
尺度效应;
微执行器;
微机器人;
微机械;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN40 [一般性问题];
学科分类号：
140101 [集成纳电子科学];
摘要：
针对微电子机械系统 (MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则 ,并系统地分析、归纳了静电、电磁、压电、形状记忆合金等各种微执行器的尺度效应特征。通过对机器蚂蚁、微型飞机、微型机器鱼等微机器人在微尺度下的动力学特性分析 ,得到微机器人在尺寸越小时越容易被驱动的结论 ,为设计和制作微机器人等复杂微系统提供了理论依据
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页数：7
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