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一种计量型二维精密工作台的研究
被引：11
作者：
廖艳春
谢铁邦
机构：
[1] 华中科技大学机械科学与工程学院
[2] 华中科技大学机械科学与工程学院 湖北武汉
[3] 湖北武汉
来源：
关键词：
二维位移工作台;
计量光栅;
定位控制;
误差分析;
D O I：
暂无
中图分类号：
TG839 [其他形位偏差测量仪];
学科分类号：
120111 [工业工程];
摘要：
研究了一种以计量光栅作为计量标准器的二维精密工作台,以实现表面轮廓测量中的X-Y方向的精确定位.重点介绍了光栅信号处理的硬件及软件细分技术,及工作台闭环控制系统的流程,分析了影响工作台定位精度和速度的因素.系统实现了高速度、高精度和大行程测量的要求.
引用
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页数：3
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