提高CCD测量精度的方法研究

被引：14

作者：

王和顺 ^{[1
]}

陈次昌 ^{[2
]}

黄惟公 ^{[1
]}

机构：

[1] 西华大学机械工程与自动化学院

[2] 不详

来源：

半导体光电 | 2010年 / 31卷 / 01期

关键词：

光学测量; 高精度测量; CCD测量; 像素间距;

D O I：

10.16818/j.issn1001-5868.2010.01.034

中图分类号：

TP391.41 [];

学科分类号：

080203 ;

摘要：

为了大幅提高CCD的测量精度,提出了一种全新的CCD使用方法。该方法是将像素间距为H的CCD器件的像素行沿与被测边缘垂直方向成一定角度α来进行摆放。此时,单线阵CCD的最大测量误差减小为H×cosα,N个线阵CCD等距错排并以α角度斜放,最大测量误差将减小为(Hcosα)/N,当列间距为h的面阵CCD沿被测对象轴向斜放时,最大测量误差减小为h×sinα。分别采用单CCD和双CCD,对直径为5.000,8.000和12.000mm的三个标准杆件的直径进行了测量。结果表明,双CCD斜放,可获得更高的测量精度。该方法可从理论上彻底打破CCD像素间距的限制,并使CCD的测量精度大幅度地提高,进一步拓展CCD的应用范围。

引用

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共 8 条

[1] CCD像素响应非均匀的校正方法 [J].