PMMA微流控芯片微通道尺寸的检测

被引：3

作者：

文伟力 ^{[1
]}

左春柽 ^{[1
]}

于建群 ^{[2
]}

张学军 ^{[1
]}

刘庆民 ^{[1
]}

陈向伟 ^{[1
]}

刘岩 ^{[1
]}

机构：

[1] 吉林大学机械科学与工程学院

[2] 吉林大学生物与农业工程学院

来源：

光学精密工程 | 2007年 / 02期

关键词：

微流控芯片; 微细加工; CCD图像检测; 尺寸测量; 图像处理,二次标定;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP274 [数据处理、数据处理系统];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ;

摘要：

研究了一种基于光电耦合器件(CCD)及图像处理技术的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片微通道几何尺寸的测量系统,论述了该系统的关键技术及其实现方法,包括图像的预处理、二值化、轮廓提取以及微通道尺寸的测量等。利用该系统测量的微通道几何尺寸(1-1 000μm)与轮廓仪和万能工具显微镜的测量结果吻合很好,最大测量误差为2μm(半深宽度),分析了测量误差产生的原因。检测实验结果表明:该检测方法提供的微通道几何尺寸评定正确可行、通用性好、应用简便,还可以避免轮廓仪在深结构测量中的误差。

引用

页码：212 / 218

页数：7

共 8 条

[1] 用线性补偿算法和CCD响应补偿来提高频谱OCT图像质量 [J].