DLC/Ag/DLC复合多层薄膜光学性能

被引：8

作者：

张德恒 ^{[1
]}

徐照方 ^{[2
]}

李伯勋 ^{[2
]}

机构：

[1] 上海摩根碳制品有限公司

[2] 中南大学物理科学与技术学院

来源：

光学学报 | 2008年 / 10期

关键词：

薄膜光学; 光学性能; 多层膜; 光学透射率; 电气指数; 磁控溅射;

D O I：

暂无

中图分类号：

TM24 [导电材料及其制品];

学科分类号：

摘要：

采用等离子体增强化学气相沉积类金刚石(DLC)薄膜、高真空磁控溅射镀膜设备溅射Ag靶的方法制备了不同厚度Ag、DLC层的DLC/Ag/DLC多层膜,分别用紫外可见分光光度计、四探针测试仪对样品的光学性能、电学性能进行了测试。结果表明,随着Ag层厚度的增加,DLC/Ag/DLC多层膜透射率先增后减,外层DLC薄膜和内层DLC薄膜对透射率影响基本一致,随着厚度增加透射率先增后减,在内外层厚度为40 nm,Ag夹层厚度为16 nm时,DLC(30 nm)/Ag(16 nm)/DLC(40 nm)膜在550 nm处的透射率高达94.4%,电气指数高达112.4×10-3Ω-1,远远超过现有透明导电膜的电气指数(FTC≈20×10-3Ω-1)。

引用

页码：2031 / 2035

页数：5

共 13 条

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