基于超光滑表面工艺过程的PSD评价技术研究

被引：3

作者：

李攀

张晋宽

白满社

滕霖

机构：

[1] 飞行自动控制研究所

来源：

航空精密制造技术 | 2011年 / 47卷 / 04期

关键词：

超光滑表面; 功率谱密度(PSD); 工艺相关性;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH161.14 [];

学科分类号：

摘要：

基于功率谱密度简化公式,通过数据拟合提取出PSD曲线的两个重要评价参数。研究PSD曲线变化与超光滑表面加工工艺相关性,提出基于超光滑表面工艺过程的PSD评价技术,以指导工艺改进和新工艺的开发。

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