利用功率谱密度函数表征光学薄膜基底表面粗糙度

被引：10

作者：

沈正祥

王占山

马彬

徐敬

陈玲燕

机构：

[1] 同济大学精密光学工程技术研究所物理系

来源：

光学仪器 | 2006年 / 04期

关键词：

光学基底; 表面粗糙度; 均方根值; 功率谱密度;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.41 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

光学表面的表面粗糙度通常利用两个传统参数方根粗糙度σ和相关长度l来进行表征。主要就如何引入功率谱密度函数(PSD)表征表面微观形貌进行了初步研究。说明了一维和二维功率谱密度(PSD)函数的数学计算方法、PSD函数的物理意义,同时给出了PSD函数与传统的表面评价指标σ和l之间的关系。利用不同仪器对多种样品进行测试,在分析比较测试结果的基础上,总结了利用PSD函数评价光学表面粗糙度的优点。功率谱密度函数作为一个全面的光学表面评价参数,正得到越来越广泛的重视和应用。

引用

页码：141 / 145

页数：5

共 5 条

[1] 关于光学元件波面测量中的功率谱密度 [J].