轻质碳化硅平面反射镜超光滑表面加工

被引：26

作者：

徐清兰

伍凡

吴时彬

王家金

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所四川成都,四川成都,四川成都,四川成都

来源：

光电工程 | 2004年 / 09期

关键词：

轻质平面反射镜; 光学加工; 粗糙度; 抛光; 面形精度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

080401 [精密仪器及机械];

摘要：

介绍了对角线为110mm六边形反应烧结轻质碳化硅平面反射镜超光滑光学加工工艺流程。详细阐述了各个工序所使用的磨具、磨料和抛光机床工艺参数,对实际加工的轻质碳化硅平面反射镜超光滑表面进行检测,检测结果为:面形精度均方根值(RMS)为0.011λ(PV值为0.071,λ=632.8nm),表面粗糙度RMS达0.75nm。

引用

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共 5 条

[1]

反应烧结碳化硅球面反射镜的光学加工与检测 [J].