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反应烧结碳化硅球面反射镜的光学加工与检测
被引:10
作者
:
范镝
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心
范镝
张忠玉
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心
张忠玉
牛海燕
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牛海燕
丰玉琴
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心
丰玉琴
张学军
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心
张学军
机构
:
[1]
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心
[2]
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心 长春
[3]
长春
来源
:
光学技术
|
2004年
/ 01期
关键词
:
反应烧结碳化硅;
光学加工;
面形精度;
粗糙度;
D O I
:
10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2004.01.002
中图分类号
:
O439 [应用光学];
学科分类号
:
摘要
:
介绍了250mm口径、4200mm曲率半径的反应烧结碳化硅球面反射镜光学加工和检测的工艺流程;并按照流程依次介绍了在研磨成型、细磨抛光和精抛光过程中使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工和检测各个步骤中应注意的问题。展示了加工后250mm口径反应烧结碳化硅球面反射镜的实物照片,并给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.037波长(λ=632.8nm),表面粗糙度RMS值达到1.92nm(测量区域大小为603.6ⅹ448.4μm)。
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