外驱动双向推力型压电步进精密驱动器研究

被引：9

作者：

杨树臣 ^{[1
]}

刘建芳 ^{[2
]}

杨志刚 ^{[2
]}

赵宏伟 ^{[2
]}

机构：

[1] 吉林工程技术师范学院

[2] 吉林大学机械工程学院

来源：

光学精密工程 | 2006年 / 04期

关键词：

压电驱动器; 精密驱动器; 外驱动; 双向推力; 分辨率;

D O I：

暂无

中图分类号：

TM921.5 [控制系统];

学科分类号：

摘要：

提出了一种新型的压电直线精密步进驱动器。该驱动器采用步进仿生运动的原理(Pusher),以定子箝位和定子驱动的方式实现动子被动运动。在对驱动器工作原理和机械结构分析的基础上,建立以压电叠堆为驱动元件的直线驱动数学模型,并对其结构进行了有限元分析。这种驱动器采用双向推力的结构原理,实现了在正反向与运动过程中驱动特性的一致。实验证明,以这种新型驱动方式构造的驱动器实现了箝位牢固、高频率(100 Hz)驱动、高步进速度(30 mm/min)、大行程(>10 mm)、高分辨率(0.05μm)、大驱动力(100 N)等特点,大幅度提高了压电型步进驱动器的驱动性能,在精密运动、微操作、光学工程、精密定位等精密工程中有广阔的应用前景。

引用

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