提高差拍法布里-珀罗干涉仪测量精度的研究

被引：6

作者：

孙文科 ^{[1
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许婕 ^{[2
]}

殷纯永 ^{[1
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李岩 ^{[1
]}

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室

[2] 中国计量科学研究院

来源：

关键词：

纳米测量; 法布里-珀罗腔; 拍频干涉法; 空气折射率;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

文章在中国计量科学研究院研制的差拍法布里-珀罗(F-P)干涉仪基础上,提出用密封干涉光路的真空系统方法,来消除空气折射率变化对测量结果的影响。研究了空气折射率变化对测量精度的影响关系,给出真空系统所需的真空度的估计式。并设计制作了适用于该系统的密封干涉光路的真空系统。

引用

页码：288 / 291

页数：4

共 5 条

[1] 用于大范围纳米测量的法布里-珀罗干涉仪 [J].

晁志霞 ;

许婕 ;

徐毅 .

[2] 空气折射率埃德林公式的修改 [J].

倪育才 .

许婕，徐毅，李成阳 .

[4] 测量微位移的法-珀干涉仪 [J].

徐毅 ;

叶孝佑 ;

李成阳 ;

许婕 ;

高峰 .

[5]

殷纯永主编.现代干涉测量技术[M].天津:天津大学出版社,1999