矩形硅杯绝对压力传感器的研制

被引：1

作者：

朱作云

李跃进

王文襄

郭源生

王麦广

机构：

[1] 西安电子科技大学微电子研究所!西安

[2] 宝鸡秦岭晶体管厂!宝鸡

来源：

传感技术学报 | 1996年 / 01期

关键词：

绝对压力传感器; 硅杯; 力敏电阻; 自停止腐蚀;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

<正>绝对压力传感器大量应用于环境压力检测、海拔高度测量、大气数据处理、地球物理研究、海底测量等领域.尤其是近年来在汽车行业中的大量应用,使性能好、价格低、通用

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